Profilômetro óptico Zeta™-388

3Dcom interferometria de luz brancapara medição de rugosidade

O perfilador sem contacto Zeta™-388 fornece metrologia 3D e capacidade de imagem, combinada com uma mesa de isolamento integrada e um sistema de manuseamento de bolacha cassete-a-cassete para medições totalmente automatizadas. O sistema é alimentado pela tecnologia ZDot™, que recolhe simultaneamente dados 3D de alta resolução e uma imagem de focagem infinita True Color. O Zeta-388 suporta ambientes de I&D e de produção com ótica Multi-Mode, software fácil de utilizar, um baixo custo de propriedade e comunicações SECS/GEM. O perfilador ótico Zeta-388 é um sistema de medição de topografia de superfície 3D sem contacto. O Zeta-388 baseia-se na capacidade do Zeta-300 com a adição de um manipulador de cassete para cassete para medições totalmente automatizadas. O sistema é alimentado pela tecnologia patenteada ZDot e pela ótica Multi-Mode, permitindo a medição de uma variedade de amostras: transparentes e opacas, de baixa a alta reflectância, de textura lisa a rugosa, e alturas de passo de nanómetros a milímetros. O sistema de metrologia ótica automatizado Zeta-388 integra seis tecnologias de metrologia ótica diferentes num sistema configurável e fácil de utilizar. O modo de medição ZDot recolhe simultaneamente uma digitalização 3D de alta resolução e uma imagem de focagem infinita True Color. Outras técnicas de medição 3D incluem interferometria de luz branca, microscopia de contraste de interferência Nomarski e interferometria de cisalhamento. A espessura da película pode ser medida com o ZDot ou com um refletómetro de banda larga integrado. O Zeta-388 é também um microscópio topo de gama que pode ser utilizado para análise de amostras ou inspeção automatizada de defeitos.