Máquina de gravação de wafers Primaxx® Monarch 3

O sistema de corrosão por fluoreto de hidrogénio a vapor (VHF) Primaxx® Monarch 3 foi concebido para realizar a libertação selectiva de corrosão através de um processo de corrosão controlado de HF anidro/álcool. O Monarch 3 é um módulo compacto que inclui uma câmara de processo de 3 wafer, incluindo um carregador semi-automático de 3 wafer com bloqueio de carga, e foi concebido para laboratórios de investigação e ambientes de produção de pequenos volumes. Um painel de PC integrado, com eletrónica de bordo, minimiza o espaço ocupado em salas limpas e o sistema foi concebido para facilitar as mudanças de tamanho de bolacha e a manutenção. - Compatível com wafers de 100mm-200mm - Tamanho do lote até 3 wafers - Sistema autónomo - A pequena área ocupada inclui câmara de processo, painel de gás/líquido e componentes de pressão/vácuo