- Movimento ultra-dinâmico
- Precisão de posicionamento imbatível
- Elevada rigidez do sistema
- Emissões de partículas mais baixas
O sistema de motores lineares de alta velocidade foi desenvolvido para ser utilizado como eixo de alimentação numa máquina de fabrico de semicondutores para obter uma produtividade superior e fiabilidade do processo.
Para além dos requisitos habituais do cliente, tais como massa em movimento, gamas de curso, definições de ciclo, etc., foi necessário ter em conta propriedades adicionais. Estas incluíam, por exemplo:
- Design extremamente compacto
- Qualidade de sincronização imbatível (cogging)
- Sem necessidade de manutenção
- Rápida colocação em funcionamento
- Feedback absoluto de posição
- Gestão de cabos para cabos personalizados
O sistema de motor linear de alta velocidade foi especialmente desenvolvido para aplicações com elevada precisão de posicionamento. Oferece a opção de utilizar um padrão de perfuração personalizado da corrediça e da placa de base para satisfazer requisitos individuais. Além disso, o sistema foi concebido numa versão compatível com salas limpas para permitir a utilização em ambientes sensíveis. Para facilitar a colocação em funcionamento inicial, é fornecido um conjunto de parâmetros para permitir uma colocação em funcionamento rápida e eficiente.
- Manuseamento de bolachas
- Manuseamento de substratos
- E-mobilidade
- Tecnologia médica
- Processamento de laser
- Manuseamento de lentes ópticas
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