Unidade compacta de Controlo/Medição do Fluxo de Massa Útil
■Applicable gas:N₂,Air,H₂,He,Ar,O₂,CO₂ etc.
■Flow range:1SCCM~20SLM
Unidade compacta de controlo/medição de fluxo feita pela combinação de uma unidade compacta de leitura CR-400B e MFC/MFM.
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