Os controladores e medidores de caudal de massa, que medem o caudal de massa, são menos influenciados pela temperatura e pressão em comparação com os medidores e válvulas de caudal mecânicos, e podem trocar electricamente informações sobre o caudal. São utilizados numa vasta gama de processos e equipamentos nos campos onde são necessários elevados níveis de precisão, repetibilidade, capacidade de resposta e rentabilidade, tais como semicondutores, fibras ópticas, análises diversas, células de combustível, cristal líquido, electroluminescência orgânica, biotecnologia, alimentos, medição ambiental, controlo de gases de combustão, instalações fabris e equipamento de exame.
■Applicable gas:N₂,Air,H₂,He,Ar,O₂,CO₂ etc.
■Flow range:10SCCM~50SLM
■Accuracy:±3~5%F.S.
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