Estufa vertical VF-3000H

de recozimentoelétricacom atmosfera controlada

Um forno vertical que permite o processamento a ultra alta temperatura, ideal para o fabrico de dispositivos de potência. Suporta wafers de 3 a 6 polegadas e tem um mecanismo automático de transferência de wafer. Pode ser utilizado para aplicações que vão desde I&D à produção em massa. Características Suporta lotes de tamanhos que vão desde mini-batches a 50 wafers, e aplicações que vão desde I&D a utilização em linhas de produção em massa. Suporta uma vasta gama de tamanhos de bolachas de 3 a 6 polegadas. O interior do forno apresenta a nossa construção própria sem metal. Permite a monitorização da temperatura nas proximidades das bolachas. Uma fechadura de carga N2 é fornecida como uma característica padrão. Transporte de cassete a cassete de alta capacidade O recozimento de atmosfera H2 com arredondamento de trincheiras está disponível como opção. VF-3000H é um forno vertical que pode processar lotes que vão desde mini-batches a 50 wafers, e uma vasta gama de tamanhos de wafer de 3 a 8 polegadas. Características de hardware e sistema de controlo cuidadosamente seleccionados permitem aplicações que vão desde I&D até à utilização em linhas de produção em massa. O interior do forno apresenta a nossa construção própria sem metal. VF-3000H permite o processamento a altas temperaturas, tornando-o ideal para o fabrico de dispositivos de potência. Também pode realizar oxinitretação.