Permite o processamento do recozimento do contato e da carcaça de GaN. Apoia bolachas de 6 polegadas e permite a ativação e a oxidação em atmosferas do carga-fechamento environments/N2 do vácuo (LP).
Características
Temperatura de funcionamento máximo: 1,200°C
Apoia uma vasta gama de tamanhos da bolacha até 6 polegadas.
Um mecanismo automático da substituição da bolacha fornece transferência da gaveta-à-gaveta.
O apoio do vácuo melhora características de recozimento.
O apoio do carga-fechamento do N2 permite o tempo de resposta rápido.
Carcaças de GaN do processo da lata.
---