A cozedura a alta temperatura num ambiente limpo é possibilitada pelo filtro de alto desempenho resistente ao calor e pela unidade de arrefecimento exclusiva. Um sistema de circulação de ar quente é usado para realizar com alta precisão a cozedura/envelhecimento de wafer e substrato de vidro, cura por poliimida e recozimento.
Funcionalidades
Um filtro de alto desempenho resistente ao calor e nossa unidade de resfriamento exclusiva são instalados para permitir a cozimento em alta temperatura.
O interior da câmara pode manter a limpeza de classe 100 quando a temperatura é estável.
Existem 2 tipos de sopradores de ar quente: soprador frontal lateral com circulação horizontal (tipo V) e soprador lateral (tipo III). Ambos alcançam alta eficiência térmica e boa uniformidade de temperatura.
Este tipo de forno é ideal para cozimento, envelhecimento e outros tratamentos térmicos que requerem alta precisão.
Os gases inertes podem ser introduzidos nas câmaras para utilizar os fornos como fornos a gás inerte.
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