Estufa de câmara VF-5300HLP

de recozimentopara altas temperaturasautomática

Um forno vertical que permite o processamento a ultra alta temperatura, ideal para o fabrico de dispositivos de potência. Suporta wafers de 6 a 8 polegadas e tem um mecanismo automático de transferência de wafer. Pode ser utilizado para a produção em massa. Características Suporta um máximo de 100 bolachas por lote, e utilização em linhas de produção em massa. Suporta uma vasta gama de tamanhos de bolachas de 6 a 8 polegadas. O interior do forno apresenta a nossa construção própria sem metal. Permite a monitorização da temperatura nas proximidades das bolachas. Uma fechadura de carga N2 é fornecida como uma característica padrão. Transporte de cassete a cassete de alta capacidade O recozimento de atmosfera H2 com arredondamento de trincheiras está disponível como opção. VF-5300HLP é um forno vertical que pode processar um máximo de 100 bolachas por lote, e uma vasta gama de tamanhos de bolachas de 6 a 8 polegadas. Características de hardware e sistema de controlo cuidadosamente seleccionados permitem a sua utilização em linhas de produção em massa. O interior do forno apresenta a nossa construção própria sem metal. VF-5300HLP suporta processos de recozimento de activação a ultra alta temperatura.