Estufa de câmara VF-5300H

de recozimentode nitruraçãode limpeza

Um forno vertical que permite o processamento a alta temperatura, ideal para o fabrico de dispositivos de potência. Suporta oxinitretação e bolachas de até 8 polegadas de tamanho. Possui um mecanismo automático de transferência de wafer, e pode ser utilizado para a produção em massa. Características Apoia no máximo. 75 wafers (200mm / 8 polegadas) ou máximo. 100 wafers (150mm / 6-polegadas), e utilização em linhas de produção em massa. Suporta uma vasta gama de tamanhos de bolachas até 8 polegadas. Permite a monitorização da temperatura nas proximidades das bolachas. O interior do forno apresenta a nossa própria construção sem metal. Suporta o processamento em série de diferentes processos de oxidação/oxinitretação (oxidação húmida/seca, recozimento H2, nitretação NH3, oxinitretação NO/N2O). Mecanismo de limpeza da câmara (opção) VF-5300H é um forno vertical que pode processar um máximo de 100 bolachas por lote, e uma vasta gama de tamanhos de bolachas de 3 a 8 polegadas. Características de hardware e sistema de controlo cuidadosamente seleccionados permitem a sua utilização em linhas de produção em massa. O interior do forno apresenta a nossa construção própria sem metal. VF-5300H permite o processamento a alta temperatura, tornando-o ideal para o fabrico de dispositivos de potência. Pode também realizar oxinitretação.