Estufa vertical VF-1000
de oxidaçãoelétricade laboratório

Estufa vertical - VF-1000 - Koyo Thermos Systems - de oxidação / elétrica / de laboratório
Estufa vertical - VF-1000 - Koyo Thermos Systems - de oxidação / elétrica / de laboratório
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Características

Configuração
vertical
Função
de oxidação
Fonte de calor
elétrico
Outras características
de laboratório, para a indústria eletrônica
Largura

1.500 mm
(59,06 in)

Altura

2.130 mm
(83,86 in)

Profundidade

1.000 mm
(39,37 in)

Descrição

Este pequeno forno vertical do tipo de produção para experiências e investigação (I&D) consegue um processamento de alta qualidade. Este forno é compacto e requer apenas uma pequena área de instalação, mas é utilizável para uma vasta gama de diâmetros de bolachas e apresenta as mesmas características de temperatura que os fornos de produção em massa. Características Processamento de alto desempenho para I&D Mini lote, máx. 25 wafers processamento por lote estão disponíveis bolachas de 2 a 8 polegadas e 300 mm de tamanho Equipado com um aquecedor LGO para realizar o mesmo desempenho a altas temperaturas que o equipamento de produção em massa Equipado com sistema de controlo simples de função limitada Este forno vertical para experiências, investigação (I&D) e pequena produção pode ser utilizado para uma vasta gama de tamanhos de bolachas de 2 a 8 polegadas e até 300 mm, e o tamanho do mini lote pode também ser escolhido entre até 25 bolachas. Uma vez que o aquecedor pode ser escolhido de um aquecedor LGO e vários outros aquecedores, o desenvolvimento do processo está disponível com a mesma estrutura de abertura de fornos e desempenho do aquecedor que os fornos de produção em massa. Este forno pode ser utilizado para vários tratamentos de bolachas de silício (LPCVD, oxidação e difusão), oxinitretação da porta de silício e recozimento de activação para desenvolvimento de dispositivos de potência (Si e SiC), e uma vasta gama de outros processos.

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* Os preços não incluem impostos, transporte, taxas alfandegárias, nem custos adicionais associados às opções de instalação e de ativação do serviço. Os preços são meramente indicativos e podem variar em função dos países, do custo das matérias-primas e das taxas de câmbio.
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