Estufa de campânula 200

de recozimentode oxidaçãode difusão

Desde pequenas experiências e investigações (I&D) até à produção em massa, os fornos podem ser concebidos para satisfazer as necessidades dos utilizadores. Os fornos horizontais podem ser utilizados para a produção de bateria solar e sistema de energia fotovoltaica (PV), bem como de pastilhas de silício. Desde a utilização experimental até à produção em massa, estão disponíveis várias configurações de equipamento Lote:25 a 150 processamento de wafers está disponível a configuração de 1 a 4 pilhas de fornos é implementada para tirar partido do quadrado limitado disponível estão disponíveis bolachas de 2 a 8 polegadas e 300mm de tamanho Aquecedor LGO para temperaturas baixas e médias altas, aquecedor HGC para temperaturas altas são fornecidos para um excelente desempenho térmico Proposta de configuração do equipamento de acordo com as necessidades do cliente com base na utilização, espaço e orçamento Sistema de controlo simples e bem equipado Estes fornos horizontais podem ser concebidos para satisfazer os pedidos dos utilizadores, desde experiências e investigação (I&D) de bolachas de 3, 4, 6 e 8 polegadas e células quadradas de 125 mm e 156 mm até à produção em massa. Para além de bolachas de silício, os fornos podem ser utilizados para produção de bateria solar e sistema de energia fotovoltaica (PV) por difusão de fósforo, difusão de boro, oxidação pirogénica, oxidação húmida, oxidação seca, recozimento, etc. utilizando POCl3, BBr3, etc.