Com uma tendência emergente na fixação de moldes e substratos mais finos, a iStack™ W+ oferece uma solução para a fixação de moldes de nível wafer.
Características & Opções
Kit de alta precisão (5 μm)
Funções de mapeamento (Substrato / Wafer)
Kit de remoção de contaminação de wafer / substrato
Kit OHT / AGV
UV (In-Situ / Post-Bond)
Kit de monitorização da contaminação da ferramenta
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