Usado tipicamente para aplicações rio acima do controle de pressão conjuntamente com controladores do fluxo maciço.
Estas válvulas utilizam micrômetro-ajustam a terceira posição de que a válvula pode remotamente ser atuada a algum grau da posição aberta. O corpo e todos os componentes internos principais são fornalha do vácuo soldada em 1100°C, em 10-6 torr, assegurando a integridade comum máxima. Isto elimina a possibilidade “de escapes virtuais” ou de áreas da armadilha quando a distorção de minimização do corpo encontrou em válvulas convencionalmente soldadas. Para manutenções, o conjunto da carruagem pode ser removido do corpo sem remover a válvula do sistema.
Características
Aço inoxidável de Electropolished
Uma das áreas de superfície interiores as menores na indústria da válvula de vácuo
A fora-válvula fechada positivo manterá sua posição fechado no caso de uma perda de poder seguida por uma gota de pressão
O projeto original do cilindro do ar sem fechamentos mecânicos dentro do vácuo reduz choque e a vibração a um mínimo
Ideal para o semicondutor e outros processos sensíveis
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