Desenvolvido especificamente para sistemas de microprocessamento, o PRIMES MicroSpotMonitor-Compact (MSM-C) expande a família de produtos de sistemas de análise de focagem baseados em câmaras através de um sistema de medição compacto e modular.
Optimizado para instalações de microprocessamento
O MicroSpotMonitor-Compact (MSM-C) foi optimizado especificamente para espaços de instalação restritos em sistemas de microprocessamento. As dimensões da caixa da câmara com eletrónica, atenuação e absorvedor de energia são de cerca de 230 x 120 x 60 milímetros (C x L x A). O dispositivo compacto não possui eixos de movimento próprios.
O feixe laser é ampliado por meio de ópticas de medição, atenuado através de dois separadores de feixe e visualizado através de um espelho deflector num sensor CCD. Se necessário, pode ser instalado um filtro adicional em frente do sensor. A geometria do feixe e a distribuição da densidade de potência são medidas pelo sensor CCD. Os dados de medição são transmitidos via Ethernet para um PC e avaliados com o software PRIMES LaserDiagnoseSoftware. Opcionalmente, os dados podem ser determinados internamente pelo dispositivo e transferidos através de uma interface PROFIBUS para o controlador da instalação.
São medidas as distribuições de densidade de potência (de um único plano de corte), as dimensões do feixe e a orientação do feixe no plano de medição. Dependendo da resolução local escolhida, podem ser efectuadas medições repetidas com uma taxa de repetição de até um Hertz.
Em conjunto com um eixo z externo:
- Dimensões do foco
- Posição do foco no espaço
- Índice de difração M2 (fator de propagação do feixe k, produto do parâmetro do feixe)
- Comprimento de Rayleigh
- Divergência do campo distante
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