Estufa de câmara IT-GRV-330/350/2300

tubularde sublimaçãode crescimento de cristais

crescimento de cristais Para o crescimento por transporte físico de vapor (PVT) de monocristais de SiC a granel segundo o método Lely modificado Outras aplicações podem ser: Síntese de matéria-prima de SiC de alta pureza ESPECIFICAÇÕES DO PRODUTO Características mais importantes Forno de indução, design com carregador superior crescimento de cristais de SiC de 4" em massa Potência de aquecimento MF 30 kW Frequência de trabalho 8-10 kHz Gases de processamento Azoto, Árgon, Hidrogénio, pressão parcial de funcionamento 5 - 950 mbar Câmara de vácuo/estanqueidade por tubo de vidro duplo arrefecido a água Sistema de bomba de vácuo para vácuo 2 x 10-5 mbar com bomba turbomolecular (685 l/s) Isolamento em feltro de grafite de alta pureza (purificado com halogéneos) Nós tornamo-lo possível: A Linn High Therm é especializada na adaptação dos seus produtos às necessidades dos clientes. Se necessitar de alguma modificação, informe-nos. Faremos tudo para satisfazer os seus desejos. Possíveis opções estandardizadas Rotação e deslocação do cadinho Pirómetro de fundo de cadinho Arrefecimento de emergência por água Software de orientação do processo Conceção do carregador de fundo Unidade de refrigeração por circulação Formação em crescimento de cristais por um reputado instituto de investigação alemão