O sistema Orbis CMP da Logitech é uma ferramenta CMP de precisão, de chão, ideal para ambientes de I&D. Tipicamente o sistema Orbis CMP é utilizado em aplicações que conduzem testes de produção piloto com óptimas capacidades analíticas e melhor desempenho de processamento.
As capacidades do sistema podem ser adaptadas para incluir:
Fabrico de IC back-end,
Fabrico de Sistemas Micro-Electromecânicos (MEMS),
Opto-MEMS
Fabrico de Bio-MEMS.
Solução de baixo custo - resultados de alto valor
A capacidade de realizar testes de processo piloto requer normalmente sistemas de nível de produção dispendiosos, no entanto a Orbis atinge esta capacidade num sistema rentável. Incorporando características melhoradas e funcionalidade de alta tecnologia, o sistema CMP da Orbis atinge capacidades de processamento superiores às normalmente oferecidas num sistema desta dimensão.
Utilização flexível do funcionamento
Para além da sua capacidade de replicar ambientes de nível de produção, o Orbis é também adequado para uma utilização mais tradicional de I&D. Isto inclui a produção de pequenos lotes e testes-piloto de produção. O sistema é capaz de processar todos os moldes, bolachas e pastilhas até 200mm (8″) de diâmetro, utilizando um transportador dedicado. Tal como com equipamento CMP anterior da Logitech, podem ser utilizados modelos e calços ou as amostras podem ser montadas directamente nos suportes de amostras.
Características principais
Ideal para ambientes de I&D e ensaios-piloto de processos
Espaço de trabalho de alta capacidade para amostras até 2 de 200mm (8″)
Dados descarregáveis para análise dos parâmetros do processo
Pegada à escala laboratorial
Condicionamento padrão da indústria para manter uma óptima vida útil das almofadas
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