Máquina de revestimento automática SE series

de alta precisão

1. O desenho idêntico de 795mm de compartimentos de vácuo permite aos utilizadores trocar livremente a localização da bomba, separação de gás e compartimentos catódicos, melhorando assim a flexibilidade do processo. 2. A nova concepção do dispositivo de separação de gás evita o desvio de gás entre compartimentos catódicos e consegue um melhor efeito de separação de gás. 3. O tubo de suporte de alumínio extrudido faz com que o íman e o seu jugo se isolem da água de arrefecimento para evitar a mudança do campo magnético devido à imersão na água durante muito tempo. 4. Equipado com 5-9 sistemas de gás de processo auxiliares de 5-9 colectores e cada um pode ser diferente como requisito do processo 5. O controlo de transporte de alta precisão pode ser assegurado por servomotores. 6. Reduzir o volume das câmaras de entrada e saída para melhorar a eficiência e reduzir os custos. 7. Uma tampa catódica integrada consegue uma combinação perfeita ao colocar colector de gás, controladores, ligações para alimentação eléctrica e vários suportes numa "caixa" para tornar a configuração do processo mais flexível. 8. Cada cátodo está equipado com um sistema de controlo independente. 9. O desenho da tampa de uma só peça pode facilitar a elevação mecânica e hidráulica, de modo a obter um melhor controlo automático. 10. Utilizando bombas turbo-moleculares avançadas de maglev e bombas de linha de parafuso para evitar a poluição do óleo de refluxo e torná-lo mais fiável e eficiente.