Encoder linear incremental BS78

ópticosem contatoaberto

Alta velocidade e alta resolução, mantendo a medição estável e de ultraprecisão. Ideal para estágios de precisão, sistemas de inspeção/fabrico de semicondutores e máquinas de processamento de ultraprecisão. Escala de alta resolução com passo de sinal de aprox. 138 nm, superior ao desempenho dos sistemas de interferómetro de ondas de luz Elevada estabilidade, não afetada pela humidade, pressão atmosférica e perturbações do ar Precisão do ponto de referência: ±0,1µm A conceção sem contacto elimina o erro de retorno. Comprimento de medição: 9 tipos (-R/-RS) Comprimento de medição: 10 tipos (-N/-NS) Modelos especiais não magnéticos e compatíveis com vácuo disponíveis Utilização de vidro de baixa expansão: -0,7 x10-6 °C (comprimento de medição: 10 a 420 mm) Resolução: 2,1 pm