Espectrômetro de raios X 2830 ZT

WDXRFde laboratóriode medição

Solução de metrologia de filme fino de semicondutores avançados O analisador de wafers de fluorescência de raios X por dispersão em comprimento de onda (WDXRF) 2830 ZT oferece recursos de última geração para medir a espessura e a composição de filme. Projetado especificamente para o setor de semicondutores e de armazenamento de dados, o analisador de wafers 2830 ZT possibilita determinar a composição das camadas, a espessura, o nível de dopantes e a uniformidade de superfície para vários tipos de wafers de até 300 mm. Capacidade e velocidade contínuas O tubo de raios X SST-MAX de 4 kW possui a inovadora tecnologia ZETA que elimina os efeitos do envelhecimento dos tubos de raios X. O desempenho deste 'novo tubo' é preservado durante toda a sua vida útil. Além de alta sensibilidade, a tecnologia ZETA também garante análises rápidas e tempos de medição curtos ao longo de toda a vida útil do tubo. A tecnologia ZETA reduz bastante a necessidade de correção de desvios e recalibração, o que aumenta a produtividade e o tempo de operação do instrumento. Máximo de tempo de operação Os tubos de raios X convencionais sofrem evaporação de tungstênio, o que provoca depósitos no interior da janela de berílio do tubo. A instrumentação que utiliza esses tubos de raios X requer correção regular de desvios para compensar a diminuição de intensidade, especialmente para elementos leves. A implementação do tubo SST-MAX no 2830 ZT resolve esse problema de desvio, maximizando o tempo de operação e preservando a precisão do instrumento ao longo do tempo.