O poder da automação da sua fábrica encontra a nossa tecnologia de difração de raios X de última geração. O Wafer XRD 300 é um módulo de metrologia ultrarrápido e de alta precisão para orientação de cristal e controle de geometria de wafer.
Visão geral
Conheça o Wafer XRD 300: seu módulo de difração de raios X de alta velocidade para produção de wafers de 300 mm fornecendo dados essenciais em uma variedade de parâmetros fundamentais, como orientação de cristal e caraterísticas geométricas, como encaixes, planos e muito mais, projetado para caber perfeitamente em sua linha de processo.
Recursos e benefícios
Precisão ultrarrápida com nossa tecnologia de leitura patenteada
O método usado requer apenas uma leitura rotacional para reunir todos os dados necessários para determinar totalmente a orientação de cristal, o que proporciona alta precisão a um tempo de medição muito baixo, no intervalo de alguns segundos.
Manuseio e classificação totalmente automatizados
O Wafer XRD 300 foi projetado para maximizar seu rendimento e produtividade. A integração total na sua automação de manuseio e classificação faz com que seja uma adição poderosa e eficiente ao seu processo.
Conectividade fácil
A poderosa automação do Wafer XRD 300 se ajusta facilmente ao seu processo novo ou existente, pois é compatível com as interfaces MES e SECS/GEM.
Alta precisão, visão mais profunda
Entenda seus materiais como nunca antes com as principais medidas do Wafer XRD 300, incluindo:
Orientação de cristal
Posição do encaixe, profundidade e ângulo de abertura
Diâmetro
Posição e comprimento planos
Outros sensores disponíveis mediante solicitação