Fonte de alimentação elétrica CA/CC HECD series

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é uma fonte de alimentação amplificadora de alta tensão para mandris electrostáticos. Além da comutação de polaridade e aterramento forçado, a série oferece o sistema de monitoramento de wafer para satisfazer as necessidades de detecção de wafer. Além disso, com a ampla gama de tensões, esta série pode suportar tanto os mandris eletrostáticos coulombic e Johnsen-Rahbek. Características e Benefícios Detecção do estado do atirador/liberador de confiança por sensor de wafer Resposta rápida pelo projeto da arquitetura do amplificador (alta confiabilidade e longa vida útil pelo projeto de "inversão de polaridade não-relay") "Controle independente de dois canais (opção)" e "Ajuste da tensão da torneira central (opção)" para várias operações de mandril/liberação Equipado com interface digital de LAN, USB, RS-232C Construído em filtro de RF de baixa passagem (13,56 MHz)