para condições ultra-altas do vácuo até 10^ (- 9) mbar
um curso de 3,5 milímetros no sentido de x, de y e de z
uma pegada de 15 x 15 milímetros
Fases diminutas ultra pequenas da tradução com movimentação com inércia eclético piezo. Edição de UHV de MS15.
* Os preços não incluem impostos, transporte, taxas alfandegárias, nem custos adicionais associados às opções de instalação e de ativação do serviço. Os preços são meramente indicativos e podem variar em função dos países, do custo das matérias-primas e das taxas de câmbio.