Os filtros de profundidade da série CMPro-M da Membrane Solutions foram especialmente concebidos para a filtragem de lamas a granel para SDS (sistema de distribuição de lamas). Fabricado por meios de polipropileno de estrutura composta com um design exclusivo de densidade graduada que permite enfrentar os desafios de filtragem de CMP. Por poros cônicos, o CMPro-M consegue um grande equilíbrio entre a excelente eficiência de retenção de aglomerados e a alta capacidade de contaminação. Ele pode efetivamente remover apenas partículas perturbadoras da pasta CMP e a distribuição do tamanho de partícula (PSD) das partículas válidas da pasta não muda após a filtração. O CMPro-M pode satisfazer várias aplicações CMP em diferentes situações, incluindo CMP de óxido, CMP STI e CMP de metal.
Características
A estrutura de filtragem graduada garante uma elevada eficiência de filtragem.
As curvas de eficiência íngremes podem melhorar significativamente a taxa de filtragem de partículas sobredimensionadas, minimizando a filtragem de partículas válidas.
Tempo de vida optimizado e menor custo.
Baixo teor de extraíveis devido à ausência de surfactantes e aglutinantes.
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