Mesa de coordenadas vertical GTS series

com motor linearde um eixode rolos cruzados

Os estágios da série GTS-V alcançam o maior alcance, a maior velocidade e a melhor precisão e repetibilidade em comparação com outros estágios verticais da plataforma. As suas capacidades de movimento de baixo perfil e alta precisão fazem desta etapa uma excelente escolha para aplicações como a inspecção de bolachas semicondutoras, nanotecnologia, alinhamento automático de dispositivos, metrologia e processos de controlo de qualidade. -30 ou 70 mm de deslocamento vertical de precisão em uma unidade compacta -Acesso sem obstáculos à carga útil de qualquer direção -Movimento livre de torção e excelente precisão de trajetória com rolamentos verticais de rolos cruzados anti-creepção -Alta sensibilidade, excelente repetibilidade e movimento de alta precisão a partir de um codificador linear integrado Orientação Vertical Direta O movimento vertical de alta precisão é alcançado utilizando um sistema de guia vertical directa composto por pares combinados de rolamentos de rolos cruzados anti-creepção para o GTS30V e rolamentos de esferas recirculantes para o GTS70V. Estas guias lineares foram escolhidas para proporcionar a trajetória mais reta, movimento suave e preciso e operação robusta e de longo prazo. Além disso, os rolamentos de rolos cruzados no GTS30V têm a vantagem adicional de um movimento mais silencioso e sem ondulações, o que é importante em aplicações de nível metrológico. Trem de acionamento de alta eficiência Um motor CC dobrado, com um parafuso de ligação à terra de baixa fricção, proporciona um movimento ultra-suave mesmo com cargas elevadas. Uma correia de redução entre o motor e o parafuso de guia aumenta o torque de saída disponível e reduz a sensibilidade do servo, garantindo 100 nm MIM.