Estação de ponta de prova semiautomática SPS series

Sistemas Semi-Automatizados Padrão - Mandril XY motorizado, placa motorizada em SPS-2600, movimento Z motorizado do mandril em SPS 2800 em configuração standard. O teta motorizado é uma opção. - Baseado em motor passo-a-passo, sem codificadores. - Muito competitivo em termos de custos - Altamente recomendado em aplicações onde são desejados testes ou blindagem a temperaturas inferiores a 0°C - Opções disponíveis: mandris aquecidos ou arrefecidos, escopos de zoom ou microscópios compostos, várias blindagens, selecção dos mandris para medições DC e RF, e muitos mais Especificações - Tamanho das bolachas Até 200mm - Tipo de motor Motor passo-a-passo - XY Viagem de Palco Até 200mmx200mm - XY Resolução de Palco motorizado, 6.5μm repetibilidade - Velocidade XY (máx) 9.5mm/s - Velocidade Z (máx) 5mm/s - Viagem de Platina 12.7mm ou mais - Ajustamento do Platen Duplo controlo grosseiro e fino com melhor que 2,5µm de repetibilidade - Planaridade de Platina <12.7μm em 200mm - Rigidez de Platina <50μm por 4,5kg - Mandris de Vácuo Vácuo multi-zona - Chuck Flatness +/-13μm - Tensão de ruptura do mandril Pelo menos 500V - Isolamento de Chuck Pelo menos 1GΩ - Ajuste do mandril 360° grosseiro, +/-6° fino - Microscópio Zoom estéreo de alta qualidade com até 200mm de distância de trabalho e ampliação que varia de 3,5X a 180X - Terminais de alimentação BNC, Triax ou Banana plug - Dimensões do sistema 122cm largura x122cm profundidade x 92cm altura