Os modelos CPS-HT são os sistemas de sonda de alta temperatura MicroXact para teste e caracterização de dispositivos às temperaturas mais elevadas do mercado, quer em vácuo quer em ambiente de gás controlado. Oferecemos sondas de wafer manuais para testar amostras até 2" x 2" (50mm x 50mm), e sistemas motorizados ou semi-automatizados para testar wafers de 100mm ou maiores. Estes sistemas são capazes de testar as amostras até 700oC em vácuo ou 650oC à pressão atmosférica.
Características
- Braços de sondas com ajuste manual externo do micromanipulador.
- Disponível com mandris térmicos arrefecidos por ar ou nitrogénio líquido.
- A configuração padrão inclui tubo zoom 7:1X para uma resolução melhor que 4 μm. 12.lentes zoom 5:1 e 16:1 também estão disponíveis.
- Eficiente isolamento de vibrações das vibrações da bomba de vácuo.
- Tempos de aquecimento e arrefecimento rápidos.
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