Estação de ponta de prova semiautomática SPS-2 series

a vácuo

As séries SPS-2600-VAC e SPS-2800-VAC são sistemas de sonda de vácuo MicroXact concebidos para suportar sondas motorizadas ou semi-automáticas de até 100mm ou até 200mm numa atmosfera de vácuo ou gás controlado. Esta solução de teste de vácuo é sistemática e precisa, rentável, de baixo ruído e convincente para utilização. Estes sistemas de sondagem a vácuo são construídos sobre uma plataforma versátil, compensada por vibração, capaz de ser configurada para lidar com uma vasta gama de aplicações de sondagem. Ideal para testes sem gelo até 77K ou para testes a alta temperatura de dispositivos e componentes sujeitos a oxidação, os sistemas de sondas de vácuo MicroXact oferecem uma sonda de nível de wafer em ambiente controlado. Características da Estação de Sonda de Vácuo - Disponível com repetibilidade/resolução padrão (+/-7mm/1,5mm) e alta repetibilidade/resolução (melhor que 2mm/100nm) em X & Y. - Disponível com fase teta manual ou motorizada. - Estão disponíveis braços de sondas com ajuste manual do micromanipulador externo. - Disponíveis com mandris térmicos arrefecidos a nitrogénio líquido para testes até temperaturas de nitrogénio líquido. - A configuração padrão inclui tubo zoom 7:1X para uma resolução melhor que 4 μm. 12.estão também disponíveis lentes de zoom 5:1 e 16:1. Os microscópios compostos de alta resolução podem ser acomodados com um desenho especial da tampa superior. - Eficiente isolamento de vibrações das vibrações da bomba de vácuo. - XactTest™ software de automação com adição de controlo automático da pressão.