Estação de ponta de prova semiautomática SPS-HP series

Sistemas Semi-Automatizados de Alta Precisão - Mandril XY motorizado, movimento Z motorizado do mandril em configuração padrão. A teta motorizada é uma opção. - Codificadores lineares com motor passo-a-passo. - Custo competitivo para as especificações de posicionamento. - Ideal para testes de produção de baixo volume e chracterização. Especificações - Tamanho das bolachas Até 300mm - Tipo de motor Motor passo-a-passo - XY Viagem de Palco Até 300mmx300mm - XY Resolução de Etapa, Repetibilidade Motorizado, resolução 0.15μm, +/-1.2μm repetibilidade - Velocidade XY (máx) 50mm/s - Velocidade Z (máx) 10mm/s - Viagem de Platina 12.7mm ou 25mm - Ajustamento do Platen Duplo controlo grosseiro e fino com melhor repetibilidade do que 1µm - Planaridade de Platina <12.7μm em 200mm - Rigidez de Platina <50μm por 4,5kg - Mandris de Vácuo Vácuo multi-zona - Chuck Flatness +/-13μm - Tensão de ruptura do mandril Pelo menos 500V - Isolamento de Chuck Pelo menos 1GΩ - Ajuste do mandril 360° grosseiro, +/-6° fino - Microscópio Zoom estéreo de alta qualidade com até 200mm de distância de trabalho e ampliação que varia de 3,5X a 180X - Terminais de alimentação BNC, Triax ou Banana plug - Dimensões do sistema 101cm largura x91cm profundidade x 88cm altura