Estação de ponta de prova semiautomática SPS-HS series

Sistemas Semi-Automatizados de Alta Velocidade - Mandril XY motorizado, placa motorizada em SPS-2600, movimento Z motorizado do mandril em SPS 2800 em configuração standard. O teta motorizado é uma opção. - Servo motorizado, codificadores lineares. - Solução muito competitiva em termos de custos, muito rápida e de alta produtividade - Altamente recomendado para produção em média escala ou outras aplicações em que a produção é importante Especificações - Tamanho das bolachas Até 300mm - Tipo de motor Servo motor - XY Viagem de Palco Até 300mmx300mm - XY Resolução de Etapa, Repetibilidade Motorizado, resolução 0.15μm, +/-1.2μm repetibilidade - XY Velocidade/aceleração (máx) Até 1000mm/s, até 35mm/s2 - Z Velocidade 20mm/s - Viagem de Platina 12.7mm ou 25mm - Ajustamento do Platen Duplo controlo grosseiro e fino com melhor que 2,5µm de repetibilidade - Planaridade de Platina <12.7μm em 200mm - Rigidez de Platina <50μm por 4,5kg - Mandris de Vácuo Vácuo multi-zona - Chuck Flatness +/-13μm - Tensão de ruptura do mandril Pelo menos 500V - Isolamento de Chuck Pelo menos 1GΩ - Ajuste do mandril 360° grosseiro, +/-6° fino - Microscópio Zoom estéreo de alta qualidade com até 200mm de distância de trabalho e ampliação que varia de 3,5X a 180X - Terminais de alimentação BNC, Triax ou Banana plug - Dimensões do sistema 101cm largura x91cm profundidade x 88cm altura