Controlador de vazão mássica termal GM50A

para gás

O controlador digitally-controlled do fluxo maciço de GM50A está disponível com o RS485, o I/o. de Profibus™, de EtherCAT, ou de DeviceNet™. A eletrônica de controle digital utiliza os algoritmos de controle os mais atrasados de MKS para a resposta rápida e repetível a setpoint durante todo a escala do controle de dispositivo. Os tempos de resposta típicos estão na ordem de 500 milissegundos. A calibração de Digitas rende 1% da exatidão setpoint no gás da calibração. Os protocolos do I/O são projetados permitir que o GE50A substitua facilmente RS485 e versões de DeviceNet do MKS 1479A MFC com a codificação menor. Um padrão uma pegada de 3 polegadas permite seu uso sem linha existente de alteração configurações do gás. O controlador do fluxo maciço de GM50A tem um revestimento de superfície electropolished (o GM50A medidor de fluxo maciço não electropolished).