Controlador de vazão mássica termal IE50A

para gás

O controlador do fluxo maciço de IE50A é um uso geral, MFC elastómetro-selado com capacidade de controle do fluxo 5 do sccm a slm 50 completo, equivalente do N2. Incorpora o mais atrasado na eletrônica de controle digital do fluxo e em um sensor térmico provado, patenteado e em um projeto mecânico. O IE50A é um MFC digitally-controlled oferecido com analog (0 a 5 VDC ou 4-20 miliampère) ou uma variedade de (RS485, Profibus® e DeviceNet™) I/o. digital. A eletrônica de controle digital utiliza o mais atrasado em algoritmos de controle de MKS para a resposta rápida e repetível a setpoint durante todo a escala do controle. Os tempos de resposta típicos estão na ordem de 500 milissegundos. Uma calibração digital (incluída) rende 1% da exatidão setpoint no gás da calibração.