Gerador de ozônio de alta concentração SEMOZON® AX8410 PRIME

para laboratóriocompacto

O SEMOZON® AX8410 PRIME é o produto inicial oferecido na plataforma de última geração da MKS de geradores de ozônio compactos, de alta concentração, alto fluxo e ultra-limpos. Ele apresenta uma estrutura de célula e potência recém-projetada para alcançar o dobro da produção de ozônio dos modelos anteriores com uma pegada semelhante. O SEMOZON® AX8410 PRIME converte oxigênio em ozônio através de descarga elétrica silenciosa. Seu novo projeto patenteado de célula suporta novos requisitos de processo que exigem concentrações mais altas de ozônio em taxas de fluxo de até 80 slm. O aumento da vazão e a maior concentração posicionam o gerador AX8410 PRIME para atender aos requisitos de ozônio para a próxima geração de processos de semicondutores.