O analisador do multi-gás, manufacturado por MKS Intruments, é usado especial para o gás do processo. O dispositivo usa um Fourier transforma o infravermelho (FTIR) e um infravermelho nondispersive (NDIR). O dispositivo é igualmente capaz do ppb à sensibilidade do ppm para gás tais como NF3, NH3, H2, NO. e N2O. Pode igualmente ser usado em gás com água de 30%.
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