Regulador de vazão mássica termal P2 MFC

para gases corrosivosdigitais

O PFC-60 ΠMFC, manufacturado por instrumentos de MKS, é um controlador térmico digital do fluxo maciço usado especial para gás corrosivos. O dispositivo consiste na melhoria na tecnologia nos termos da funcionalidade e do desempenho. Ajudam os usuários no semicondutor e em aplicações thin-film da pureza elevada. O controle de fluxo do dispositivo é insensível aos distúrbios rio acima e a jusante. O controle tempo real do fluxo do gás e de sua exatidão é melhorado. Têm a melhor câmara combinar do que MFCs digitais baseados PID. O sensor da pressão e a exposição de diodo emissor de luz são combinados a fim diminuir os componentes necessários em uma vara do gás. A instalação e a pesquisa de defeitos dos MFC in situ são devido à relação baseada correia fotorreceptora do navegador.