Analisador de ar Process Sense™

elementarintegrávelNDIR

O processo Sense™ é apropriado para determinar a conclusão da limpeza da câmara do plasma, no semicondutor e nas câmaras do depósito. O analisador da pressão minimiza a erosão da câmara, devido a overcleaning. Em conseqüência, o serviço da vida da câmara é prolongado. O dispositivo é projetado de uma absorção infravermelha, que seja eficiente para todas as operações de limpeza do plasma. É oferecido em jogos de melhoramento completos, para ferramentas do CVD de AMAT. Pode ser utilizado nas aplicações diferentes que envolvem óxidos de silicone, nitretos de silicone, polysilicon e no silane ou nos processos de TEOS.