Difusor de gás GasShield®

Os difusores de gás Mott Gasshield fornecem fluxos de gás uniformes e laminares, minimizando a perturbação das partículas. Removem eficazmente partículas superiores a 0,0015 μm, melhorando a qualidade da bolacha, e oferecem uma longevidade superior a 6.000.000 de ciclos, o que os torna uma escolha fiável para o fabrico de semicondutores. Aplicações típicas Os difusores de câmara são utilizados para ventilação nas seguintes aplicações: " câmaras de fecho de carga " câmaras de transferência " câmaras de arrefecimento, e " câmaras de processo de interfaces de equipamentos de semicondutores (CVD, PVD, Etch, Epi) ou outras câmaras de vácuo Condições de funcionamento - " Pressão máxima de funcionamento: 60 psig (4,2 barg) " Temperatura máxima de operação para gás inerte 860°F (460°C) sem o-ring 212°F (100°C) com o-ring " Pressão diferencial máxima: 75 psid (5,0 bar) Materiais - " Hardware: Aço inoxidável 316L ou liga 22* " Meio filtrante: Fibra de aço inoxidável 316L ou Liga 22* " Acabamento da superfície da ferragem molhada: 10 Ra *A Liga 22 ou UNS NO6022 é uma super-liga de níquel-crómio-molibdénio normalmente designada por Hastelloy® C-22® Especificações - Tamanho de remoção de partículas - ≥ 0,0015 μm Derramamento de partículas: - Contribuição zero de partículas acima do fundo (<1 partícula/ft³) pelo método de teste SEMI F43-0308