Filtração totalmente metálica de alta precisão e alto fluxo, projetada especificamente para conjuntos do Sistema de Gás Integrado (IGS).
A Mott High Purity - que há anos fornece filtros metálicos porosos e restritores de fluxo para a fabricação de semicondutores - também oferece esses mesmos produtos em projetos compatíveis com IGS. Assim, agora você pode combinar a facilidade de instalação, acessibilidade dos componentes, facilidade de manutenção, tempo de montagem reduzido e compatibilidade entre os componentes típicos da IGS, com os benefícios de seleção e desempenho oferecidos exclusivamente pela Mott.
A missão da Mott é fornecer aos clientes soluções exclusivas de filtragem e controle de fluxo usando materiais projetados especificamente para condições operacionais exigentes, eficiência de 9 LRV e controle de fluxo exato. Nossa linha completa de filtros IGS e produtos restritores de fluxo é projetada para compatibilidade com as interfaces do sistema de gás que estão sendo especificadas em ferramentas de processo, gabinetes de gás e instalações de caixas manifold de válvulas conforme SEMI 2787. Como os desafios da conversão de 300mm surgiram, nossa tecnologia forneceu as soluções necessárias.
Altas taxas de fluxo - Os meios metálicos porosos Mott possuem propriedades exclusivas que permitem a produção de uma gama mais ampla de opções de fluxo, material e configuração do que nossos concorrentes. Esta flexibilidade na geometria fornece filtros com taxas de vazão de até 100 slpm enquanto atende aos requisitos de envelope da indústria.
Gama completa de configurações de produtos - As ofertas de montagem modular IGS padrão da Mott incluem a configuração de 1,125" com C-Seal ou W-Seal, bem como a versão de 1,5" com C-Seal ou W-Seal. Temos o design que você precisa.
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