Max. Temperatura (°C): 1900
Temperatura de uso contínuo (°C): 1700
Volume (L): 1
Nível de vácuo: 10^-4 torr
Fluxómetro de gás: Controlador de Fluxo de Massa (qtd.: 2 para CH4 e H)
Buracos de entrada: KF 25 (qtd total: 2, 1 pc para vácuo, 1 pc para entrada de gás inerte)
Controle de pressão: Transmissor de pressão e sensor de vácuo
Limite de Varredura para Vácuo: 10^-4 torr sistema de bomba de difusão será integrado ao forno. Após o processo de aspiração para aquecimento, continuará com Ar, CH4 e H.
Tipo de Câmara: Vertical e cilíndrica
Câmara de Aquecimento: Cabina reforçada, resistente a alto vácuo.
Elementos de Aquecimento: Grafite
Escudos de calor: Grafite
Sensibilidade da indicação da temperatura: ± 1°C
Refrigeração Controlada: Não há opção de resfriamento rápido. No entanto, para resfriamento lento, ele pode ser controlado com 1 °C / min.
Tipo de Carregamento: Carregamento superior
HMI: PLC + Siemens 9 ̎Touch Tela
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