Para monitorização em processo de bolachas solares/fotovoltaicas
Espessura multi-canal, TTV e módulo de medição de proa para monitorização em processo de wafers solares/fotovoltaicos e outros materiais.
Características
Até três canais de espessura por rack
Sondas proprietárias de capacidade de empurrar/puxar MTII funcionam com todos os tipos de bolachas
Medições da variação mínima, máxima, média e total da espessura
Medição de arco (3 pares de sondas necessárias)
Aquisição integrada de dados e electrónica de controlo
Portas de comunicação Fast Ethernet para taxas de produção até 5 wafers por segundo
Escalável para aumentar o número de varreduras de linhas de espessura
E/S digital para interface com o equipamento de manuseamento de wafer existente
Programa de controlo baseado em Windows® para monitorização local ou remota de dados
Pacote DLL baseado em Windows® para integração com os PC's de controlo existentes
Tamanhos de sonda padrão e personalizados disponíveis
Sobre o Sistema Metrológico Fotovoltaico/Solar
Espessura multi-canal, TTV e módulo de medição de proa para monitorização em processo de wafers solares/fotovoltaicos e outros materiais.
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