Mesa de coordenadas de mesa MiniSCAN
linearXYZ

mesa de coordenadas de mesa
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Características

Orientação
linear, XY, Z
Tipo
com motor linear
Outras características
de alta precisão, de medição, com autofocagem, de mesa
Velocidade

20 mm/s, 50 mm/s, 100 mm/s, 300 mm/s

Repetibilidade

2 nm, 20 nm, 100 nm, 200 nm, 300 nm

Carga

8 kg, 10 kg
(17,64 lb, 22,05 lb)

Descrição

série iniSCAN A série MiniSCAN é um sistema de digitalização de secretária de alta precisão recentemente lançado pela nossa empresa. Toda a máquina adopta uma base de mármore com excelente estabilidade, equipada com estágios de movimento de alta precisão dos eixos XY e Z, e tem instalação de caminho de luz e iluminação reservada. O mecanismo pode ser rapidamente combinado em várias aplicações que satisfazem os requisitos do cliente. Atualmente, tem casos de aplicação muito bem sucedidos em aplicações de alta precisão, tais como digitalização de bolachas semicondutoras, deteção biológica e medição por interferómetro. Principais caraterísticas da série MiniSCAN Sistema padrão de isolamento de vibrações ao nível da secretária Motor linear de alta precisão opcional de três eixos ou estágio de movimento de motor passo a passo de alta estabilidade O sistema de controlo de acionamento foi incorporado em toda a estrutura da máquina, não sendo necessária uma caixa de controlo adicional Podem ser selecionados mecanismos personalizados de iluminação e imagem de acordo com os requisitos do cliente Módulo opcional de alcance de alta precisão para obter uma focagem automática de nível 0,2um Software de controlo padrão opcional, bem como um pacote de desenvolvimento secundário completo, rico e rápido

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Multi-Axis stages

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