Alinhador de máscara de bancada 200

O OAI Model 200 Mask Aligner é um Alinhador de Máscaras de alto desempenho de baixo custo que foi projetado com componentes comprovados na indústria que tornaram a OAI líder na indústria de equipamentos fotolitográficos de capital. O Modelo 200 é um Alinhador de Máscaras de Bancada que requer um espaço mínimo de sala limpa. Ele oferece uma alternativa econômica para P&D, ou escala limitada, produção piloto. Utilizando um sistema inovador de nivelamento por mancal de ar/vácuo, o substrato é nivelado rápida e suavemente, para alinhamento paralelo da máscara fotográfica e contato uniforme através do wafer durante a exposição de contato. O sistema é capaz de resolução de um micron e precisão de alinhamento. O módulo de alinhamento possui conjuntos de máscara e mandris de troca rápida que facilitam o uso de uma variedade de substratos e máscaras sem a necessidade de ferramentas especiais para reconfiguração. O módulo de alinhamento incorpora micrômetros para os eixos X, Y, e Z. O Alinhador de Máscaras Modelo 200 possui uma fonte de luz OAI UV confiável que fornece luz UV colimada em UV Próximo ou Profundo usando lâmpadas com potências entre 200 e 2000 watts. Os laços de realimentação óptica com sensor duplo estão ligados ao controlador de intensidade constante para fornecer controle de intensidade de exposição dentro de ±2% da intensidade desejada. As alterações podem ser feitas no comprimento de onda UV de forma rápida e fácil. Este alinhador de máscara é uma solução flexível e econômica para qualquer aplicação de alinhamento de máscara de nível de entrada e exposição UV.