Medição da altura, raio ou posição do chip sem contato, útil para muitas aplicações
Configuração
Um autocolimador eletrônico com achromat de fixação é montado
num eixo z de alta precisão, motorizado e controlado por software.
O martelo da cabeça de medição é medido com uma resolução de 1µm.
A função de medição é baseada no fato de que o retículo do
o autocolimador é refletido em si mesmo, se estiver focado na amostra
superfície.
Um software com sistema de processamento de imagem controla as medições.
Campos de utilização
1. Ajuste do chip da câmera
2. Medição da distância focal de flange (FFL) das objetivas
3. Medidor óptico de altura
4. Medição do raio das lentes ópticas
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