O equipamento principal para o uso profissional na bolacha de 200 e 300 milímetros que processa na tecnologia do semicunductor. SURFTENS WH 300 é equipado com um roboter da bolacha de 3 linhas centrais, varredor da bolacha, loadport para bolachas de 200 e/ou 300 milímetros, unidade de filtro do fã, entalhando o sistema. Apropriado para qualquer classe da sala de limpeza caracteriza o mapeamento automático de ângulos de contato em bolachas para até 25 bolachas.
SURFTENS WH 300 é um instrumento de medição totalmente automático do ângulo de contato, equipado com a bolacha que segura o robô, o loadport para bolachas de 200mm/300mm e a funcionalidade completa como o requesetd na tecnologia da bolacha de 300mm.
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