Sistema de inspeção por fotoluminescência Vertex™

automáticopara reator epitaxialpara wafers

O sistema Vertex controla o processo de medição PL para que o seu processo epitaxial se mantenha firmemente sob controlo. Visão Geral do Produto A mais recente adição à família RPM padrão da indústria, o sistema Vertex leva um grande conceito e leva-o até a sua conclusão final. Utilizando um novo perfil de feixe a bordo, o sistema Vertex controla a densidade de potência, monitorando constantemente tanto a potência do laser como as dimensões do ponto focal. Isto permite ao utilizador ajustar a densidade de potência a um valor fixo, eliminando todas as fontes de variação entre ferramentas, permitindo uma boa correspondência de ferramentas num ambiente de produção. Além disso, o controle de densidade de potência ajuda o sistema Vertex a fornecer medições de dados altamente precisas e repetíveis.