Sistema de inspeção por fotoluminescência Imperia®

óptico3Dautomático

Com a sua tecnologia única de desenho óptico, o sistema Imperia detecta e classifica os defeitos de eliminação do campo com o benefício adicional de monitorização simultânea da produção de fotoluminescência (PL) de última geração Visão Geral do Produto Com tecnologia de desenho óptico única, o sistema Imperia detecta e classifica os defeitos de eliminação do campo com o benefício adicional de monitorização simultânea da produção de fotoluminescência (PL) de última geração. A combinação destas duas funções de rastreio metrológico pós-epitaxial num único sistema de alto rendimento minimiza o valioso uso de espaço fabril e o tempo de manipulação de cassetes. Este produto pode proporcionar poupanças económicas significativas ao utilizador (por exemplo: previsão precisa do rendimento do reactor MOCVD e horários de PM) - Mapeamento PL espectral de alta densidade - Análise e classificação de defeitos - Espessura da camada epitaxial e imagem normalizada da reflectividade em alta resolução - Perfilagem de forma de bolacha e reconstrução de arco 3D