Máquina de inspeção para wafers AWX FSI

de partículasindustrialde defeitos

O sistema AWX FSI é essencial para que os fabricantes de wafer forneçam um rápido controlo de partículas de ferramentas de processo críticas. Visão Geral do Produto As bolachas não padronizadas requerem o controlo de qualidade fornecido pelo sistema AWX FSI, com inspecção de campo escuro a laser para detectar partículas, riscos, defeitos de área e micro rugosidade (névoa) nas bolachas nuas. O sistema AWX FSI é capaz de medir diferentes substratos, materiais e tamanhos de bolachas, incluindo silício nu e bolachas dopadas ou revestidas. O tratamento automatizado de diferentes tipos de cassetes abertas e um pré-alinhador permite uma grande flexibilidade para a utilização desta ferramenta em vários ambientes desde a I&D, produção e garantia de qualidade. A ferramenta de inspecção AWX pode tratar wafers de 150mm, 200mm e 300mm permitindo a classificação automática de wafers com base nos resultados da inspecção. Especificações - 150/200/300mm inspecção automática de bolachas - Sensibilidade aos níveis nanométricos - Perigo - Capacidade de ordenação - Configuração flexível de ferramentas - Classificação automática de defeitos