Sistema de metrologia para wafers Echo™

para semicondutores

A tecnologia ultra-sónica Picosecond, ou tecnologia PULSE™, é o padrão da indústria para metrologia de filmes metálicos. O sistema Echo™ é a mais recente adição à família de produtos de metrologia acústica da Onto Innovation e foi concebido para alargar a liderança em vários segmentos de dispositivos de ponta Visão Geral do Produto O sistema Echo é uma ferramenta abrangente de metrologia de película metálica em linha para medições de película metálica de uma e várias camadas em lógica de ponta, memória, embalagem avançada, e dispositivos semicondutores especializados. O design óptico inovador alarga a gama dinâmica para medição de espessura de película de 50Å a 35µm numa única plataforma e oferece extensível para medir estruturas 3D NAND avançadas de alta relação de aspecto. O software Expert Applications System (EASy™) proporciona flexibilidade para o desenvolvimento de algoritmos definidos pelo utilizador para modelação de pilhas complexas de multicamadas. O sistema Echo também expande a capacidade de caracterização de materiais dos sistemas de tecnologia PULSE. Para além do Módulo Young de filmes dieléctricos de baixa quilometragem em BEOL e máscaras duras de carbono amorfo em 3D NAND, o sistema Echo inclui electrónica e algoritmos actualizados para monitorização de implantes e caracterização da condutividade térmica. O pequeno tamanho do ponto combinado com medições rápidas permite o mapeamento completo de wafer a 0,5mm de exclusão de borda, melhorando a rotação da informação e a qualidade da informação durante o desenvolvimento e optimização do processo. Especificações - Medições opto-acústicas em linha utilizando laser ultra-rápido de femtossegundo - O pequeno tamanho do ponto (8x10µm) permite medições num local com 15µm - Espessura típica das películas metálicas de 50Å a 35µm - Alto rendimento até 60wph