Park NX-Hivac é um microscópio de força atómica de alto vácuo para análise de falhas e investigação de materiais sensíveis à atmosfera.
Uma vez que o varrimento de alto vácuo oferece maior precisão e melhor repetibilidade do que condições ambientais ou de N2 seco, os utilizadores podem, por exemplo, medir uma vasta gama de concentração de dopante e resposta ao sinal em aplicações de análise de falhas.
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