Processos microeletrônicos de ponta exigem produtos químicos de processo muito limpos, altamente filtrados e regulados até um tamanho de partícula de 20 nm ou menos. Com sensibilidade a partículas de 20 nm, o novo Contador de Partículas Químicas Chem 20 da PMS é o contador de partículas mais sensível do mundo para produtos químicos de processo de alta pureza.
Dados extensivos sobre sistemas de distribuição e embalagem de produtos químicos comprovam que o contador Chem 20 da PMS, com sensibilidade de 20 nm, detecta maiores concentrações de partículas com estatísticas melhores do que produtos da concorrência. O Contador de Partículas Químicas Chem 20 é uma ferramenta valiosa que permite que os engenheiros de instalações e processos detectem e caracterizem rapidamente as fontes de partículas químicas antes que elas afetem o processo e o desempenho do dispositivo.
Óptica de laser e detectores avançados permitem sensibilidade de 20 nm em produtos químicos
Fluxímetro integrado de produtos químicos para definir o fluxo da amostra
Primeiro contador de partículas otimizado para produtos químicos de baixo e alto índice de refração a fim de melhorar o desempenho:
Contador Chem 20, para produtos químicos com índices de refração mais baixos
Contador Chem 20-HI, adaptado para ácido sulfúrico e outros produtos químicos de índices mais altos
Detecção integrada de vazamento para fornecer alarme em caso de vazamento interno de produtos químicos
Detector e alarme de baixo fluxo para garantir dados consistentes
Detector de bolhas para otimizar os dados e proteger o contador
Exibição de dados locais